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代表性项目

半导体基片平整化表面构造钎焊磨具研究

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所属单位：
机电及自动化学院
负责人姓名：
方从富
项目来源单位：
省、市、自治区科技项目
项目分类：
面上项目
项目级别：
省部级
项目参与人员：
于怡青,吴海融,吴海勇,段念,赵再兴,邓文文
项目编号：
20161ZB042
立项时间：
2016-03-01
计划完成时间：
2019-04-01
结项日期：
2019-03-29
资助额度(万元)：
4.0

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