方从富
Influence of fixed abrasive configuration on the polishing process of silicon wafers
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所属单位:机电及自动化学院
发表刊物:INTERNATIONAL JOURNAL OF ADVANCED MANUFACTURING TECHNOLOGY
论文类型:期刊论文
是否译文:否
发表时间:2017-01-01
第一作者:方从富
通讯作者:赵再兴,卢龙远,林燕芬