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代表性专利

蓝宝石晶片腐蚀抛光复合加工方法

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所属单位：
机电及自动化学院
发明设计人：
徐西鹏,胡中伟,赵欢,谢斌晖,陈铭欣
专利类型：
发明专利
专利状态：
专利授权
申请号：
201610572926.7
是否职务专利：
否
申请日期：
2016-07-20
第一作者：
方从富

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