发表刊物：Yi Qi Yi Biao Xue Bao/Chinese Journal of Scientific Instrument
关键字：彩色共聚焦测量；光学表面形貌检测；测量范围调制；测量精度调制
摘要：为了满足先进制造工艺的对检测技术越来越高的要求，对材料表面的测量既有高精度的要求，同时也有快速检测的需求。彩色共聚焦测量技术从原理上避免了轴向扫描过程，与传统的激光共聚焦技术相比，具有明显的测量速度优势，可针对大尺寸的被测物表面形貌进行快速化检测。通常情况下，针对不同测量需求的被测对象，需要设计不同的彩色共聚焦系统核心部件--色散物镜，增加了系统的复杂性。针对这一情况，本文采用色散和聚焦分离的设计方式，通过切换物镜参数的方式，快速有效地实现不同测量需求。所设计的大范围色散元件结合不同聚焦物镜时，能实现对色散范围的调制，并以此为基础搭建了聚焦和色散分离的彩色共聚焦系统。实验结果表明：采用不同参数物镜时，可实现对量程和分辨率的调制；其中，当采用10×（NA=0.3）物镜时，可获得轴向225μm的线性色散，此时测量系统的轴向测量精度优于0.2μm。
卷号：39
期号：3
页面范围：100-107
字数：6280
是否译文：否
发表时间：2017-12-03
第一作者：崔长彩,张学典(外),余卿