余卿
研究的多光谱共焦检测技术主要包括:色散管镜等核心光学元器件的研制,具有自主知识产权的颜色转换算法设计,单点式、光纤式多光谱共焦检测系统研制,以及非同轴照明的多光谱共焦检测系统的研制。多光谱共焦检测技术及其检测系统可用于蓝宝石衬底、光学镜片等的表面形貌及缺陷检测,为新型显示、半导体、先进光学等领域提供检测解决方案。