华侨大学陆静--中文主页-- 多片单晶/多晶金刚石晶圆磨抛加工设备开发

陆静

学位：工学博士学位
职称：教授
所在单位：制造工程研究院

博士生导师

主要任职：厦门市光电材料加工重点实验室副主任
学历：博士研究生
学位：工学博士学位
所在单位：制造工程研究院
电子邮箱：
其他任职：国际磨粒加工委员会（ICAT）青年委员，中国机械工程学会生产工程分会光整加工专业委员会理事，稀土抛光材料与界表面调控加工技术专业委员会副主任委员，福建省机械工程学会标准委员会委员

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多片单晶/多晶金刚石晶圆磨抛加工设备开发

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所属单位：

制造工程研究院

负责人姓名：

陆静

项目分类：

技术开发

项目参与人员：

李东旭,辛永康,柯聪明,罗求发

项目编号：

20231HH359

立项时间：

2023-07-30

结项日期：

2023-05-31

开始日期：

2022-05-07

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