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陆静
学位：工学博士学位
职称：教授
所在单位：制造工程研究院
博士生导师
主要任职：
厦门市光电材料加工重点实验室副主任
学历：
博士研究生
学位：
工学博士学位
所在单位：
制造工程研究院
电子邮箱：
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其他任职：
国际磨粒加工委员会（ICAT）青年委员，中国机械工程学会生产工程分会光整加工专业委员会理事，稀土抛光材料与界表面调控加工技术专业委员会副主任委员，福建省机械工程学会标准委员会委员
学术荣誉：
2013当选：福建省高校杰出青年科研人才培育计划
2018当选：福建省高等学校新世纪优秀人才支持计划
科学研究
研究领域
半导体晶圆的超精密加工、硬脆材料自由曲面的机器臂自动化磨抛、纳米碳材料的表面修饰与改性
论文成果
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陆静.Structure and characteristics of Si-coated diamond grits.Diamond abrasives Engineering
Ti coating of nanocrystalline diamond by atomic layer deposition.ADVANCES IN GRINDING AND ABRASIVE TECHNOLOGY XIII
Silicon atomic layer deposition on nanocrystalline diamond.ADVANCES IN MACHINING & MANUFACTURING TECHNOLOGY VIII
Microstructure and thermal characteristic of Si-coated multi-walled carbon nanotubes.NANOTECHNOLOGY
Characterization of silicon films grown by atomic layer deposition on nanocrystalline diamond.DIAMOND AND RELATED MATERIALS
专利
一种大尺寸单晶金刚石的抛光方法（日本PCT）
一种大尺寸单晶金刚石的磨削方法（日本PCT）
一种硬核软壳复合磨料及其制备方法和应用（美国PCT）
超细磨料生物高分子柔性抛光膜及其制备方法（美国PCT）
科研项目
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多片单晶/多晶金刚石晶圆磨抛加工设备开发, 2023-07-30-2023-05-31
单晶金刚石衬底的磨粒诱导反应抛光技术及应用研究, 2021-09-30
金刚石功能衬底加工技术高价值专利培育, 2020-03-31
金属磨粒多孔陶瓷砂轮反应磨削单晶金刚石衬底的基础研究, 2019-08-17
石材翻新的磨抛工具设计与评测, 2020-12-25-2021-11-01
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学位：工学博士学位
职称：教授
所在单位：制造工程研究院