Precision Polishing of Single Crystal Diamond (111) Substrates Using a Sol-Gel (SG) Polishing Pad
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所属单位：
制造工程研究院
发表刊物：
IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING
项目来源：
国家自然科学基金项目
论文类型：
期刊论文
是否译文：
否
发表时间：
2019-08-08
第一作者：
陆静
通讯作者：
童睿龙,罗求发,徐西鹏
学位：工学博士学位
职称：教授
所在单位：制造工程研究院