Photocatalysis assisting the mechanical polishing of a single-crystal SiC wafer utilizing an anatase TiO2-coated diamond abrasive
点击次数：
所属单位：
制造工程研究院
发表刊物：
PRECISION ENGINEERING-JOURNAL OF THE INTERNATIONAL SOCIETIES FOR PRECISION ENGINEERING AND NANOTECHNOLOGY
论文类型：
期刊论文
是否译文：
否
发表时间：
2017-07-01
第一作者：
陆静
通讯作者：
徐西鹏
学位：工学博士学位
职称：教授
所在单位：制造工程研究院