磨料与晶圆衬底摩擦化学反应的实现装置

所属单位：

制造工程研究院

发明设计人：

陆静,徐西鹏,薛志萍,姜峰

专利类型：

实用新型

专利状态：

专利授权

申请号：

202120717085.0

是否职务专利：

否

申请日期：

2021-04-08

第一作者：

罗求发