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    罗求发

    • 副教授 硕士生导师
    • 性别:男
    • 学历:博士研究生
    • 学位:工学博士学位
    • 入职时间:2020-01-14
    • 所在单位:机电学院/制造工程研究院
    • 办公地点:综合实验大楼A314
    • 电子邮箱:
    • 在职信息:挂职
    • 学科:机械制造及其自动化

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    一种用于半导体晶圆表面的磨削方法

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    所属单位:制造工程研究院

    发明设计人:陆静,柯聪明,黄辉,徐西鹏

    专利类型:发明专利

    专利状态:专利授权

    申请号:202410263207.1

    是否职务专利:

    申请日期:2024-03-08

    第一作者:罗求发