罗求发
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所属单位：制造工程研究院
发明设计人：陆静,柯聪明,黄辉,徐西鹏
专利类型：发明专利
专利状态：专利申请
申请号：202410309397.6
是否职务专利：否
申请日期：2024-03-19
第一作者：罗求发
下一条：一种磨粒放电诱导去除绝缘晶圆表面的磨抛加工方法
