华侨大学陆静--中文主页-- Phase Transformation of Monocrystalline Silicon Induced by Polishing With Diamond Abrasives

陆静

教授

博士生导师

学位：工学博士学位
所在单位：制造工程研究院
主要任职：厦门市光电材料加工重点实验室副主任
学历：博士研究生
电子邮箱：
其他任职：国际磨粒加工委员会（ICAT）青年委员，中国机械工程学会生产工程分会光整加工专业委员会理事，稀土抛光材料与界表面调控加工技术专业委员会副主任委员，福建省机械工程学会标准委员会委员

给我点赞：

详细 >>

当前位置: 中文主页 >> 科学研究 >> 论文成果

Phase Transformation of Monocrystalline Silicon Induced by Polishing With Diamond Abrasives

点击次数：

发表刊物：IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING

刊物所在地：2014JCR-大类-工程技术-四区

备注：2016年考核

是否译文：否

第一作者：徐西鹏,陆静,李洋(学)

上一条：The effects of abrasive yielding on the polishing of SiC wafers using a semi-fixed flexible pad

下一条：Fabrication and application of gel-bonded ultrafine diamond abrasive tools