教授
博士生导师
点击次数:
所属单位:制造工程研究院
发表刊物:DIAMOND AND RELATED MATERIALS
项目来源:国家自然科学基金项目
论文类型:期刊论文
是否译文:否
第一作者:周菁(学)
通讯作者:陆静,薛志萍,徐西鹏
上一条:Study on high efficient sapphire wafer processing by coupling SG-mechanical polishing and GLA-CMP
下一条:Removal mechanism of 4H-and 6H-SiC substrates (0001 and 0001 over bar ) in mechanical planarization machining